Trong quy trình sản xuất bán dẫn, vi điện tử và MEMS, máy Ashing được sử dụng để loại bỏ lớp photoresist và các chất hữu cơ trên bề mặt wafer sau quá trình quang khắc hoặc plasma etching. Để máy Ashing hoạt động ổn định, hệ thống chân không đóng vai trò đặc biệt quan trọng.
Trong đó, bơm hút chân không là thiết bị trực tiếp tạo và duy trì áp suất làm việc cho buồng xử lý. Khi bơm bị suy giảm hiệu suất, nhiễm bẩn hoặc rò rỉ, áp suất trong chamber có thể không đạt yêu cầu, thời gian pump-down tăng, plasma không ổn định và ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng wafer.
Vì vậy, bảo dưỡng bơm hút chân không cho máy Ashing định kỳ là một trong những công việc quan trọng để duy trì độ ổn định và độ tin cậy của toàn bộ hệ thống.
Giao hng trn ton qu?c
Thnh ti?n:
