Mọi thông tin chi tiêt xin liên hệ
Sdt: 0983648863
Zalo: 0983648863
Email: hoatstyle668@gmail.com
BƠM HÚT CHÂN KHÔNG EDWARDS STP-iXA3306C VG250
Máy bơm tuabin bay từ tính dòng STP-iXA3306 cung cấp hiệu suất hàng đầu trong ngành và kết hợp một nguồn điện nhỏ vào bộ điều khiển trên bo mạch - công nghệ mới nhất của dòng STPiXA3305 đã được thành lập.
Chiều cao của máy bơm bằng STP-XA2703 / XA3203 và cũng bằng chiều cao của dòng STP-iXA3305 không có nguồn điện (iPS-1200). Sản phẩm tích hợp đầy đủ này cung cấp khả năng cài đặt dễ dàng và sử dụng nhỏ gọn như một giải pháp tất cả trong một cho tất cả các công cụ ứng dụng.
Chiều cao của máy bơm bằng STP-XA2703 / XA3203 và cũng bằng chiều cao của dòng STP-iXA3305 không có nguồn điện (iPS-1200). Sản phẩm tích hợp đầy đủ này cung cấp khả năng cài đặt dễ dàng và sử dụng nhỏ gọn như một giải pháp tất cả trong một cho tất cả các công cụ ứng dụng.
Các ứng dụng
- Plasma etch (hóa chất clo, flo và brom) cho kim loại (nhôm), vonfram và phương ngữ (oxit) và polysilicon
- Cộng hưởng điện tử cyclotron (ECR) etch
- Lắng đọng phim CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
- Phun xạ
- Nguồn cấy ion, trạm bơm và trạm chùm tia
THÔNG TIN CHI TIẾT
| Kích thước mặt bích đầu vào | ISO250F / VG250 / ICF305 | ISO320F / VG300 / ICF356 |
| Kích thước cổng ra | KF40 | K40 |
| Tốc độ bơm N 2 | 2650 ls -1 | 3200 ls -1 |
| Tốc độ bơm Ar | 2300 ls -1 | 2800 ls -1 |
| Cân nặng | 80 kg | 83 kg |
| Tỷ số nén N 2 / H 2 | > 10 8/2 x 10 3 |
| Áp suất cuối cùng | 10 -7 Pa (10 -9 Torr) |
| Áp suất hỗ trợ cho phép | 266 Pa (2 Torr) |
| Lưu lượng khí tối đa N 2 * (chỉ làm mát bằng nước) | 4000 sccm |
| (6,76 Pam 3 giây -1 ) | |
| Lưu lượng khí tối đa Ar * (chỉ làm mát bằng nước) | 2100 sccm |
| (3,55 Pam 3 giây -1 ) | |
| Tốc độ định mức | 27700 vòng / phút |
| Thời gian bắt đầu | <10 phút |
| Vị trí lắp đặt | Mọi định hướng |
| Điện áp đầu vào | 200-240 V |
| Công suất đầu vào tối đa không có TMS | 1500 VA |
| Công suất đầu vào tối đa với TMS | 1800 VA |
* Lưu lượng khí tối đa có thể áp dụng trong điều kiện khí N 2 hoặc Ar được bơm liên tục với nhiệt độ làm mát bằng nước dưới 25º C và sử dụng bơm hỗ trợ (cỡ 10.000 l / phút). Nó được thay đổi với điều kiện.
Hiệu suất
Kích thước
| Mặt bích cổng vào |
VG250 | ISO250F | VG300 | ISO320F | ICF305 | ICF356 |
| ØA | 350 | 335 | 400 | 425 | 305 | 356 |
| ØB | 358 | 358 | 358 | 358 | 358 | 358 |
| C | 15 | 15 | 18 | 20 | 28 | 28,5 |
| D | 281 | 281 | 242 | 242 | 286 | 281 |
| E | 435 | 435 | 396 | 396 | 440 | 435 |
| F | 363 | 363 | 325 | 325 | 368 | 364 |
| G | 320 | 320 | 282 | 282 | 325 | 321 |
| H | 319 | 319 | 281 | 281 | 324 | 320 |
| I | 251 | 251 | 212 | 212 | 256 | 251 |
