Ứng dụng chân không cho sản xuất chất bán dẫn

THÔNG TIN CHI TIẾT

Công nghiệp bán dẫn

Công nghiệp bán dẫn ra đời khi người ta phát hiện ra rằng các đặc tính của mạch điện lớn và phức tạp có thể được nhân đôi dưới dạng kích thước nhỏ bằng cách lắng đọng các lớp điện cực khác nhau với trình tự chính xác đáng kinh ngạc trên các chip silicon nhỏ .  Những con chip này được sản xuất với số lượng lớn từ những tấm wafer tròn, sau khi đã qua xử lý, được cắt thành những con chip nhỏ độc lập.  Các chip sau đó được đưa vào các bảng mạch để tạo thành các mạch điện hoàn chỉnh.  Công nghệ sản xuất các thiết bị bán dẫn ngày nay đã trở nên vững chắc và việc sản xuất đang được tiến hành trên toàn thế giới với quy mô lớn và ngày càng tăng nhanh.  Từ giai đoạn đầu tinh thể silicon tạo ra các đặc tính bán dẫn cụ thể, thông qua nhiều giai đoạn đặc biệt liên quan đến lắng đọng và ăn mòn, cần phải có một môi trường chân không được kiểm soát.  Hầu hết các quy trình đều có điểm chung là cần phải đưa một hoặc nhiều khí khác nhau vào buồng chân không để tạo ra plasma và thúc đẩy bất kỳ phản ứng hóa học nào cần thiết.  Phản ứng hóa học có thể tạo ra sản phẩm phản ứng ở thể khí hoặc thể rắn.  Do đó, hệ thống bơm cho các quá trình bán dẫn có thể chứa khí khác nhau, các sản phẩm phản ứng dạng khí và các hạt.  Tùy thuộc vào quá trình, các vật liệu khí có thể nổ, mable, xâm thực, ăn mòn hoặc độc hại trong khi chất rắn có thể bị mài mòn.  Các sản phẩm này có những vấn đề khó khăn trong vận hành bơm chân không mà phải đạt được độ tin cậy có thể chấp nhận được.

Các hệ thống sử dụng bơm chân không kết hợp các tính năng hỗ trợ chống lại các vật liệu xâm thực cùng với các phụ kiện để giữ các vật liệu này lại hoặc giảm thiểu ảnh hưởng của chúng