BƠM HÚT CHÂN KHÔNG EDWARDS STP-iXA3306C VG250
Xem ảnh gốc

Mọi thông tin chi tiêt xin liên hệ

Sdt: 0983648863

 Zalo: 0983648863

Email: hoatstyle668@gmail.com

BƠM HÚT CHÂN KHÔNG EDWARDS STP-iXA3306C VG250

Thông tin chi tiết



Máy bơm tuabin bay từ tính dòng STP-iXA3306 cung cấp hiệu suất hàng đầu trong ngành và kết hợp một nguồn điện nhỏ vào bộ điều khiển trên bo mạch - công nghệ mới nhất của dòng STPiXA3305 đã được thành lập.
Chiều cao của máy bơm bằng STP-XA2703 / XA3203 và cũng bằng chiều cao của dòng STP-iXA3305 không có nguồn điện (iPS-1200). Sản phẩm tích hợp đầy đủ này cung cấp khả năng cài đặt dễ dàng và sử dụng nhỏ gọn như một giải pháp tất cả trong một cho tất cả các công cụ ứng dụng.

Các ứng dụng

  • Plasma etch (hóa chất clo, flo và brom) cho kim loại (nhôm), vonfram và phương ngữ (oxit) và polysilicon
  • Cộng hưởng điện tử cyclotron (ECR) etch
  • Lắng đọng phim CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Phun xạ
  • Nguồn cấy ion, trạm bơm và trạm chùm tia

THÔNG TIN CHI TIẾT

 

Kích thước mặt bích đầu vào ISO250F / VG250 / ICF305 ISO320F / VG300 / ICF356
Kích thước cổng ra KF40 K40
Tốc độ bơm N 2 2650 ls -1 3200 ls -1
Tốc độ bơm Ar 2300 ls -1 2800 ls -1
Cân nặng 80 kg 83 kg
Tỷ số nén N 2 / H 2 > 10 8/2 x 10 3
Áp suất cuối cùng 10 -7 Pa (10 -9 Torr)
Áp suất hỗ trợ cho phép 266 Pa (2 Torr)
Lưu lượng khí tối đa N 2 * (chỉ làm mát bằng nước) 4000 sccm
  (6,76 Pam 3 giây -1 )
Lưu lượng khí tối đa Ar * (chỉ làm mát bằng nước) 2100 sccm
  (3,55 Pam 3 giây -1 )
Tốc độ định mức 27700 vòng / phút
Thời gian bắt đầu <10 phút
Vị trí lắp đặt Mọi định hướng
Điện áp đầu vào 200-240 V
Công suất đầu vào tối đa không có TMS 1500 VA
Công suất đầu vào tối đa với TMS 1800 VA

* Lưu lượng khí tối đa có thể áp dụng trong điều kiện khí N 2  hoặc Ar được bơm liên tục với nhiệt độ làm mát bằng nước dưới 25º C và sử dụng bơm hỗ trợ (cỡ 10.000 l / phút). Nó được thay đổi với điều kiện.

Hiệu suất

Kích thước

Mặt
bích cổng vào
VG250 ISO250F VG300 ISO320F ICF305 ICF356
ØA 350 335 400 425 305 356
ØB 358 358 358 358 358 358
C 15 15 18 20 28 28,5
D 281 281 242 242 286 281
E 435 435 396 396 440 435
F 363 363 325 325 368 364
G 320 320 282 282 325 321
H 319 319 281 281 324 320
I 251 251 212 212 256 251

 


 


  •