Bơm hút chân không Edwards iXL120N



Sản phẩmiXL120
Lưu lượng cao nhất110 m 3 giờ -1

65 cfm

1833 lphút -1
Áp suất cuối cùng (điển hình)0,013 mbar

0,009 Torr

1,3 Pa
Công suất 0,55 kw
Nguồn ở Chế độ xanh0,045 kW
Kết nối đầu vào
Theo chiều dọcISO63
NgangNW50
Kết nối đầu raNW25
Kết nối nước làm mátKhông bắt buộc
Dòng nước1 phút -1
Cân nặng59 kg

Hiệu suất

Kích thước

THÔNG TIN CHI TIẾT

iXL120 là một máy bơm khô nhỏ gọn,sử dụng năng lượng thấp, 110 m 3 h -1 để xử lý sản xuất đĩa bán dẫn  (wafer) và các ứng dụng làm sạch khác. Nó cung cấp khả năng bơm nhanh xuống các khoang khóa tải với mức tiêu thụ năng lượng cực thấp.

iXL120 là một trong những máy bơm nhỏ nhất và nhẹ nhất có sẵn cho các ứng dụng sản xuất đĩa bán dẫn và làm sạch. Độ rung thấp và độ ồn thấp của nó làm cho nó lý tưởng để gắn trên dụng cụ hoặc trong sàn waffle của fab, giúp tiết kiệm không gian sàn fab có giá trị. Chế độ Xanh cho phép giảm mức sử dụng tiện ích trong thời gian nhàn rỗi, giảm chi phí tiện ích và giúp tiết kiệm môi trường
Các mã sản phẩm :
A54113010
A54113020
A54113610
A54113710
A54113011
A54113221
A54113611
A54113711