Máy bơm chân không bán dẫn tiên tiến của Edwards đã được chứng minh thực tế để hoạt động theo các tiêu chuẩn vận hành cao nhất. Độ tin cậy và hiệu suất cao đạt được bằng cách kéo dài tuổi thọ, cải thiện thời gian hoạt động và tăng năng suất, đồng thời giảm thiểu dấu chân và chi phí sở hữu.
Dòng iH cung cấp độ tin cậy cao cho các quy trình khó, chẳng hạn như PECVD và LPCVD, nơi có các sản phẩm phụ dạng hạt, ngưng tụ và ăn mòn.
Công nghệ
Hệ thống iH hoạt động ở áp suất giữa khí quyển và chân không cuối cùng mà không có chất lỏng bôi trơn hoặc làm kín trong buồng bơm. Điều này đảm bảo một hệ thống bơm sạch mà không có sự di chuyển ngược lại của dầu vào hệ thống được hút chân không.
Hệ thống iH80 có một máy bơm khô HCDP80; Máy bơm HCDP có động cơ làm mát bằng nước kèm theo. Do đó, hệ thống iH thích hợp cho các ứng dụng trong môi trường sạch, nơi không thể chấp nhận việc làm mát bằng quạt của động cơ.
Hệ thống iH có một hệ thống khí đưa khí lọc vào máy bơm HCDP. Hệ thống khí này thích hợp để sử dụng cho các quy trình làm việc khắc nghiệt. Nếu bạn sử dụng hệ thống iH cho các quy trình làm việc nhẹ hoặc trung bình, bạn có thể sử dụng chế độ tiết kiệm khí để giảm tiêu thụ nitơ thanh lọc của hệ thống bơm.
Bạn có thể điều khiển thủ công hệ thống iH thông qua Thiết bị đầu cuối Hiển thị Bơm. Ngoài ra, bạn có thể sử dụng công cụ quy trình của mình hoặc thiết bị điều khiển khác để điều khiển hoạt động của hệ thống iH thông qua Mô-đun giao diện hoặc thông qua phụ kiện Mô-đun truyền thông iM hoặc bạn có thể sử dụng phụ kiện iH Single Equipment Monitor để điều khiển hoạt động của hệ thống iH.
Các ứng dụng
- Khóa tải
- chuyển khoản
- Đo lường
- Kỹ thuật in thạch bản
- Quy trình PVD
- PVD làm sạch trước
- RTA
- Dải / tro hóa
- Khắc
- Nguồn cấy ghép
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
Các mã sản phẩm
Bơm khô iH80 460V, 60 Hz 3Ø
A59000908
Bơm khô iH80 200 / 208V, 50/60 Hz 3Ø
A59000945
Bơm khô iH80 380 / 415V, 50 Hz 3Ø
A59000946
Bơm khô iH80 230V, 60 Hz 3Ø
A59000957
