Bơm hút chân không Edwards IH600
Xem ảnh gốc

Mọi thông tin chi tiêt xin liên hệ

Sdt: 0983648863

 Zalo: 0983648863

Email: hoatstyle668@gmail.com

Bơm hút chân không Edwards IH600

Thông tin chi  tiết

Máy bơm chân không bán dẫn tiên tiến của Edwards đã được chứng minh thực địa để hoạt động theo các tiêu chuẩn vận hành cao nhất. Độ tin cậy và hiệu suất cao đạt được bằng cách kéo dài tuổi thọ, cải thiện thời gian hoạt động và tăng năng suất, đồng thời giảm thiểu dấu chân và chi phí sở hữu.
 
Dòng iH cung cấp độ tin cậy cao cho các quy trình khó, chẳng hạn như PECVD và LPCVD, nơi có các sản phẩm phụ dạng hạt, chất ngưng tụ và ăn mòn.

Công nghệ

Hệ thống iH hoạt động ở áp suất giữa khí quyển và chân không cuối cùng mà không có chất lỏng bôi trơn hoặc làm kín trong buồng bơm. Điều này đảm bảo một hệ thống bơm sạch mà không có sự di chuyển ngược lại của dầu vào hệ thống được di tản. 
 
Hệ thống iH600 có một máy bơm khô HCDP80, với một máy bơm tăng áp cơ HCMB600 được lắp vào đầu vào của máy bơm HCDP80. Cả máy bơm HCDP và máy bơm HCMB đều có động cơ làm mát bằng nước kèm theo. Do đó, hệ thống iH thích hợp cho các ứng dụng trong môi trường sạch, nơi không thể chấp nhận việc làm mát bằng quạt của động cơ.
 
Hệ thống iH có một hệ thống khí đưa khí lọc vào máy bơm HCDP. Hệ thống khí này thích hợp để sử dụng cho các quy trình làm việc khắc nghiệt. Nếu bạn sử dụng hệ thống iH cho các quy trình làm việc nhẹ hoặc trung bình, bạn có thể sử dụng chế độ tiết kiệm khí để giảm tiêu thụ nitơ thanh lọc của hệ thống bơm.
 
Bạn có thể điều khiển thủ công hệ thống iH thông qua Thiết bị đầu cuối hiển thị máy bơm. Ngoài ra, bạn có thể sử dụng công cụ quy trình của mình hoặc thiết bị điều khiển khác để điều khiển hoạt động của hệ thống iH thông qua Mô-đun Giao diện hoặc thông qua phụ kiện Mô-đun Truyền thông iM hoặc bạn có thể sử dụng phụ kiện iH Single Equipment Monitor để điều khiển hoạt động của hệ thống iH.

Các ứng dụng

  • Khóa tải
  • chuyển khoản
  • Đo lường
  • Kỹ thuật in thạch bản
  • Quy trình PVD
  • PVD làm sạch trước
  • RTA
  • Dải / tro hóa
  • Khắc
  • Nguồn cấy ghép
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

THÔNG TIN CHI TIẾT

Thông số kỹ thuật

   
Lưu lượng cao nhất 600 m 3 giờ -1
  353 cfm
  10000 l phút -1
Chân không tối ưu 7 x 10 -4 mbar
  5,3 x 10 -4 Torr
  0,07 Pa
Lưu lượng nitơ con dấu trục điển hình 4 slm
Kết nối đầu vào ISO100
Kết nối đầu ra NW40
Lưu lượng nước làm mát điển hình ở áp suất giảm 15 psi 240 lh -1
  4 l phút -1
Cân nặng 415 kg
Nguồn điện đầu vào cuối cùng 3,4 kw
Công suất động cơ định mức 6,1 kw
Dung tích dầu 1,43 l


 
Tất cả các số liệu là điển hình không có chấn lưu khí.
 

Hiệu suất

Thông số kỹ thuật bơm hút chân không edwards ih600

Kích thước

Kích thước bơm hút chân không edwards ih600
1 Đầu vào
2 Cửa hàng
3 Cổng khai thác không khí
4 Hộp biến tần (Chỉ iH1000)


Bơm hút chân không Edwards IH600