Bơm hút chân không Edwards EPX180L

Thông tin chi tiết

Dòng EPX sử dụng cơ chế giai đoạn tái sinh / Holweck® trục đơn, được cấp bằng sáng chế độc đáo giúp chúng có khả năng bơm từ khí quyển đến áp suất cuối cùng là <1x10 -4 mbar hoặc < 1x10-6 mbar tùy thuộc vào kiểu máy. Chúng lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu áp suất cơ bản tốt hơn mức có thể được cung cấp bởi một máy bơm sơ cấp điển hình và nếu không thì cần phải có máy bơm phân tử tuabin và máy bơm sơ cấp và cũng cho các ứng dụng thường xuyên quay vòng từ khí quyển đến áp suất thấp vì chúng có thể hoạt động liên tục ở tất cả các áp suất đầu vào.

Công nghệ

Hệ thống bơm EPX hoạt động ở áp suất giữa khí quyển và chân không cuối cùng, không có chất lỏng bôi trơn hoặc làm kín trong buồng bơm. Điều này đảm bảo một hệ thống bơm sạch mà không có sự di chuyển ngược lại của dầu hoặc chất lỏng vào hệ thống.

Stato của máy bơm và động cơ kèm theo được làm mát bằng mạch làm mát nước tích hợp. Do đó, máy bơm EPX thích hợp cho các ứng dụng trong môi trường phòng sạch, nơi không thể chấp nhận việc làm mát bằng quạt. Các đường ống cấp và hồi nước làm mát được kết nối với máy bơm bằng các đầu nối nước (do khách hàng chỉ định). Nước làm mát phải được cung cấp tương xứng với điều kiện môi trường (độ ẩm và nhiệt độ) sao cho không đạt được điểm sương.

Máy bơm kết hợp bộ lọc nguồn cung cấp EMC và bộ truyền động biến tần, cung cấp và điều khiển nguồn điện cho động cơ máy bơm. Đèn LED trên nắp trước xác định trạng thái của máy bơm EPX. Tốc độ động cơ phụ thuộc vào áp suất đầu vào của máy bơm. Khi máy bơm được khởi động với áp suất đầu vào bằng hoặc gần bằng áp suất khí quyển, động cơ tăng tốc đến tốc độ bị giới hạn bởi dòng điện có thể được cung cấp bởi biến tần. Khi áp suất ở đầu vào giảm, tốc độ động cơ tăng lên, cho đến khi nó đạt đến tốc độ tối đa đã đặt trước. Nếu áp suất ở đầu vào tăng lên, động cơ sẽ lại chạy chậm lại.

Dòng máy bơm EPX L không thể vận hành bằng tay; chúng phải được điều khiển và giám sát bởi thiết bị điều khiển bên ngoài, thiết bị này phải được kết nối với máy bơm EPX thông qua Mô-đun Giao diện Công cụ (TIM).

Máy bơm EPX được hỗ trợ bởi bốn bộ cách ly rung động.

Cảm biến bảo vệ máy bơm tự động tắt máy bơm nếu phát sinh tình trạng lỗi.

Các ứng dụng

Loạt EPX bao gồm một loạt các ứng dụng từ xử lý wafer thông qua các quy trình nhiệm vụ trung bình.

Dòng EPX 'L' đã được thiết kế để sử dụng cho các ứng dụng làm việc sạch bơm hỗn hợp khí trơ, chẳng hạn như khóa tải, theo đó giao diện công cụ quy trình được cung cấp điều khiển.

Mô tả

THÔNG TIN CHI TIẾT

Thông số kỹ thuật

Lưu lượng cao nhất	170 m 3 giờ -1
	105 ft 3 phút -1
	2835 lphút -1
Chân không tối ưu
	<1 x 10 4 mbar
	<7,5 x 10 -5 Torr
	<1 x 10 -2 Pa
Thời gian khởi động (đến hiệu suất danh nghĩa)	30 phút
Mặt bích đầu vào	ISO63
Mặt bích đầu ra	NW25
Tiếng ồn	<59 dB (A)
Đầu nối nước	3/8 trong Quick
Tốc độ dòng nước làm mát tối thiểu	2 lm -1
Nhiệt độ nước làm mát	15-35 ° C
Cung cấp điện	200/208 V, 50/60 Hz 3 pha
Sức mạnh tối thượng	1,4 kw
Công suất động cơ định mức	3.0 kw
TIM	C3
Cân nặng	43,5 kg

Hiệu suất

Thông số kỹ thuật bơm hút chân không edwards EPX180L

1. EPX500

2. EPX180

Kích thước

H = 388 (EPX180)

H = 397 (EPX500)

Bơm hút chân không edwarsds EPX180L