Bơm hút chân không edwards STP-iXA2206C ISO250F

Thông tin chi tiết

Máy bơm phân tử tuabin bay từ tính sê-ri STP-iXA2206 cung cấp hiệu suất hàng đầu trong ngành và kết hợp nguồn điện nhỏ vào bộ điều khiển trên bo mạch - công nghệ mới nhất của sê-ri STP-iXA2205. Chiều cao của máy bơm bằng STP-A2203C và cũng bằng chiều cao của dòng STP-iXA2205 không có nguồn điện (iPS-1200). Sản phẩm tích hợp đầy đủ này cung cấp khả năng cài đặt dễ dàng và sử dụng nhỏ gọn như một giải pháp tất cả trong một cho tất cả các công cụ ứng dụng.

Các ứng dụng

  • Plasma etch (hóa chất clo, flo và brom) cho kim loại (nhôm), vonfram và phương ngữ (oxit) và polysilicon
  • Cộng hưởng điện tử cyclotron (ECR) etch
  • Lắng đọng phim CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Phun xạ
  • Nguồn cấy ion, trạm bơm và trạm chùm tia

THÔNG TIN CHI TIẾT

Thông số kỹ thuật

Kích thước mặt bích đầu vào ISO250F / VG250 / ICF305
Kích thước cổng ra KF40
Tốc độ bơm N 2 / Ar 2200/1900 ls -1
Tỷ số nén N 2 / H 2 > 10 8/1 x 10 4
Áp suất cuối cùng 10 -7 Pa (10 -9 Torr)
Áp suất hỗ trợ cho phép 266 Pa (2 Torr)
Lưu lượng khí tối đa N 2 * (chỉ làm mát bằng nước) 3000 sccm
  (5,07 Pam 3 giây -1 )
Lưu lượng khí tối đa Ar * (chỉ làm mát bằng nước) 1400 sccm
  (2,36 Pam 3 giây -1 )
Tốc độ định mức 27000 vòng / phút
Thời gian chạy lên đến 90% tốc độ định mức <8 phút
Vị trí lắp đặt Mọi định hướng
Điện áp đầu vào 200-240 V
Công suất đầu vào tối đa (không có TMS) 1200 VA
Cân nặng 62 kg


* Lưu lượng khí tối đa có thể áp dụng trong điều kiện khí N 2 hoặc Ar được bơm liên tục với nhiệt độ làm mát bằng nước từ 15-25 ° C và sử dụng bơm bồi (cỡ 10.000 l / phút). Nó được thay đổi với điều kiện.

Hiệu suất

Kích thước1

Thông số kỹ thuật bơm STP-iXA2206C ISO250F
Mặt
bích cổng vào
VG250 ISO250F ICF305
ØA 350 335 305
ØB 296 296 296
C 18 16 28
D 235 245 275
E 395 405 435
F 323 333  363
G 281 291 321
H 283 293 323
I 312 322 352




     
  •  
  •  


STP-iXA2206C ISO250F