Sản phẩm & Dịch vụ
Bài viết
Bơm hút chân không Edwards iH1800HTX
Xem ảnh gốc

Mọi thông tin chi tiêt xin liên hệ

Sdt: 0983648863

 Zalo: 0983648863

Email: hoatstyle668@gmail.com

 

Bơm hút chân không Edwards iH1800HTX

Thông tin chi tiết 

Máy bơm chân không bán dẫn tiên tiến của Edwards đã được chứng minh thực địa để hoạt động theo các tiêu chuẩn vận hành cao nhất. Độ tin cậy và hiệu suất cao đạt được bằng cách kéo dài tuổi thọ, cải thiện thời gian hoạt động và tăng năng suất, đồng thời giảm thiểu dấu chân và chi phí sở hữu. 
 
IH1800HTX được thiết kế đặc biệt cho các quy trình như Nitride LPCVD 300 mm, trong đó nhiệt độ hoạt động cao hơn được yêu cầu để ngăn chặn sự ngưng tụ khí trong quy trình.

Công nghệ

Hệ thống iH hoạt động ở áp suất giữa khí quyển và chân không cuối cùng mà không có chất lỏng bôi trơn hoặc làm kín trong buồng bơm. Điều này đảm bảo một hệ thống bơm sạch mà không có sự di chuyển ngược lại của dầu vào hệ thống được di tản. 
 
Hệ thống iH1800 có một máy bơm khô HCDP160 với một máy bơm tăng áp cơ HMB1800 được lắp vào đầu vào của máy bơm HCDP160. Cả máy bơm HCDP và HMB đều có động cơ làm mát bằng nước kèm theo. Do đó, hệ thống iH thích hợp cho các ứng dụng trong môi trường sạch, nơi không thể chấp nhận việc làm mát bằng quạt của động cơ.
 
Hệ thống iH có một hệ thống khí đưa khí lọc vào máy bơm HCDP. Hệ thống khí này thích hợp để sử dụng cho các quy trình làm việc khắc nghiệt. Nếu bạn sử dụng hệ thống iH cho các quy trình làm việc nhẹ hoặc trung bình, bạn có thể sử dụng chế độ tiết kiệm khí để giảm tiêu thụ nitơ thanh lọc của hệ thống bơm.
 
Bạn có thể điều khiển thủ công hệ thống iH thông qua Thiết bị đầu cuối hiển thị máy bơm. Ngoài ra, bạn có thể sử dụng công cụ quy trình của mình hoặc thiết bị điều khiển khác để điều khiển hoạt động của hệ thống iH thông qua phụ kiện Mô-đun giao diện hoặc thông qua phụ kiện Mô-đun truyền thông iH, hoặc bạn có thể sử dụng phụ kiện iH Single Pumpset Monitor để điều khiển hoạt động của hệ thống iH.
 
Các biến thể iH HTX có tính năng tăng nhiệt độ vận hành, khả năng lọc khí và đường kính ống xả để giảm sự ngưng tụ của khí quá trình trong máy bơm. Ngoài ra, chúng còn có Hệ thống quản lý nhiệt khí thải (TMS) và tùy chọn thanh lọc khí thải có sưởi.

Các ứng dụng

  • Khóa tải
  • chuyển khoản
  • Đo lường
  • Kỹ thuật in thạch bản
  • Quy trình PVD
  • PVD làm sạch trước
  • RTA
  • Dải / tro hóa
  • Khắc
  • Nguồn cấy ghép
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

THÔNG TIN CHI TIẾT

Thông số kỹ thuật

Lưu lượng cao nhất 1800 m 3 giờ -1
  1060 cfm
  30000 l phút -1
Chân không tối ưu 1 x 10 -3 mbar
  7,5 x 10 -4 Torr
  0,1 Pa
Lưu lượng nitơ con dấu trục điển hình 4 slm
Kết nối đầu vào ISO160
Kết nối đầu ra NW40
Lưu lượng nước làm mát điển hình ở áp suất giảm 15 psi 240 lh -1
  4 l phút -1
Cân nặng 502 kg
Nguồn điện đầu vào cuối cùng 4,1 kw
Công suất động cơ định mức 7,0 kw
Dung tích dầu 1,6 l


 
Tất cả các số liệu là điển hình không có chấn lưu khí.

Hiệu suất

Thông số kỹ thuật bơm hút chân không edwards iH1800HTX

Kích thước

Kích thước bơm hút chân không edwards iH1800HTX
1 Đầu vào
2 Cửa hàng
3 Cổng khai thác không khí
4 Hộp biến tần (Chỉ iH1000)


Bơm hút chân không Edwards iH1800HTX