Dòng iH cung cấp độ tin cậy cao cho các quy trình khó, chẳng hạn như PECVD và LPCVD, nơi có các sản phẩm phụ dạng hạt, chất ngưng tụ và ăn mòn.
Công nghệ
Hệ thống iH hoạt động ở áp suất giữa khí quyển và chân không cuối cùng mà không có chất lỏng bôi trơn hoặc làm kín trong buồng bơm. Điều này đảm bảo một hệ thống bơm sạch mà không có sự di chuyển ngược lại của dầu vào hệ thống được di tản.
Hệ thống iH1800 có một máy bơm khô HCDP160 với một máy bơm tăng áp cơ HMB1800 được lắp vào đầu vào của máy bơm HCDP160. Cả máy bơm HCDP và HMB đều có động cơ làm mát bằng nước kèm theo. Do đó, hệ thống iH thích hợp cho các ứng dụng trong môi trường sạch, nơi không thể chấp nhận việc làm mát bằng quạt của động cơ.
Hệ thống iH có một hệ thống khí đưa khí lọc vào máy bơm HCDP. Hệ thống khí này thích hợp để sử dụng cho các quy trình làm việc khắc nghiệt. Nếu bạn sử dụng hệ thống iH cho các quy trình làm việc nhẹ hoặc trung bình, bạn có thể sử dụng chế độ tiết kiệm khí để giảm tiêu thụ nitơ thanh lọc của hệ thống bơm.
Bạn có thể điều khiển thủ công hệ thống iH thông qua Thiết bị đầu cuối hiển thị máy bơm. Ngoài ra, bạn có thể sử dụng công cụ quy trình của mình hoặc thiết bị điều khiển khác để điều khiển hoạt động của hệ thống iH thông qua phụ kiện Mô-đun giao diện hoặc thông qua phụ kiện Mô-đun truyền thông iH, hoặc bạn có thể sử dụng phụ kiện iH Single Pumpset Monitor để điều khiển hoạt động của hệ thống iH.
Các ứng dụng
- Khóa tải
- chuyển khoản
- Đo lường
- Kỹ thuật in thạch bản
- Quy trình PVD
- PVD làm sạch trước
- RTA
- Dải / tro hóa
- Khắc
- Nguồn cấy ghép
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD