Phạm vi hoạt động của các loại bơm hút chân không

THÔNG TIN CHI TIẾT

Phạm vi hoạt động của các loại bơm hút chân không phổ biến hiện nay

Hiện nay trên thế giời người ta chia ra gồm 9 loại bơm chân không cơ bản:

1: Bơm hấp thụ ( Sorption )

Phạm vi hoạt động từ 1000 - 9 x 10^-3 mbar

2: Bơm chân không cánh kiểu quay ( Mechanical rotary )

Phạm vi hoạt động từ 1000 - 2 x 10^-3 mbar

3: Bơm tăng áp cơ học ( Mechanical booster )

Phạm vi hoạt động 300 - 6 x10^-4 mbar

4: Bơm hút chân không khô ( Dry pump )

Phạm vi hoạt động 1000 - 3 x 10^-2 mbar

5: Bơm tăng áp hơi ( Vapour booster )

Phạm vi hoạt động 1 - 6 x 1 x 10^-4 mbar

6: Bơm khuếch tán ( Diffusion )

Phạm vi hoạt động 3 x10 ^-2 - 1 x 10^-10 mbar

7: Bơm turbo ( Turbomolecular )

Phạm vi hoạt động 1 - 1 x 10^-10 mbar

8: Bơm ion ( Ion )

Phạm vi hoạt động 1 x10^-4 - 1 x 10^-10 mbar

9: Bơm bẫy lạnh ( Cryo )

Phạm vi hoạt động 6 x 10^-2 - 1 x10^-10 mbar