Các phương pháp phát hiện rò rỉ chân không hiện nay

Máy đo rò rỉ chân không thông dụng nhất hiện nay thường là các thiết bị sử dụng công nghệ phát hiện Helium Mass Spectrometry. Máy đo rò rỉ kiểu này hoạt động dựa trên nguyên tắc phát hiện sự hiện diện của heli trong môi trường chân không, vì heli là một khí hiếm có kích thước phân tử nhỏ, không phản ứng và có khả năng xâm nhập qua các lỗ rò rỉ rất nhỏ.Các tính năng quan trọng của máy đo rò rỉ heli bao gồm:Độ Nhạy Cao: Có khả năng phát hiện các rò rỉ với kích thước rất nhỏ, thường đo được ở đơn vị atm·cm³/s, hoặc thậm chí nhỏ hơn.Tính Chính Xác: Cung cấp kết quả đo lường chính xác, giúp xác định vị trí và kích thước của lỗ rò rỉ.Tính Linh Hoạt: Có thể sử dụng cho nhiều ứng dụng khác nhau, từ kiểm tra chân không trong công nghiệp đến nghiên cứu khoa học.Ngoài ra, còn có các loại máy đo rò rỉ khác như máy đo rò rỉ dựa trên cảm biến áp suất, cảm biến âm thanh (ultrasonic leak detectors), hoặc cảm biến hình ảnh, nhưng đối với môi trường chân không và yêu cầu độ chính xác cao, máy đo rò rỉ heli vẫn là lựa chọn ưu tiên.