Bơm chân không edwards nEXT85D ISO63 NW16 80W

NW40

ISO63

CF63

ISO100

Tốc độ bơm đầu vào ls -1

N 2

48

84

85

Ar

44

80

80

Anh ta

61

79

77

H 2

50

61

54

Tỷ lệ nén

N 2

> 1 x 10 11

Ar

1 x 10 9

Anh ta

8,5 x 10 6

H 2

2,1 x 10 5

Tốc độ bơm đường cao tốc (tải khí 70 sccm) ls -1

N 2

6

Ar

6

Anh ta

9

H 2

10

Kích thước cổng dự phòng / đường liên bang

NW16

Cổng thông hơi / thanh lọc

NW16

Lưu lượng đầu vào liên tục tối đa N 2

Làm mát bằng không khí cưỡng bức ( môi trường 35 o C)

sccm

30

Làm mát bằng không khí cưỡng bức ( môi trường 23 o C)

sccm

60

Làm mát bằng nước ( môi trường 35 o C)

sccm

50

Làm mát bằng nước ( môi trường 23 o C)

sccm

60

Đối lưu tự nhiên ( môi trường xung quanh 30 o C)

sccm

10

Đối lưu tự nhiên ( môi trường 23 o C)

sccm

25

Áp suất sao lưu liên tục tối đa N 2

Làm mát bằng không khí cưỡng bức ( môi trường 35 o C)

mbar

10

Làm mát bằng không khí cưỡng bức ( môi trường 23 o C)

mbar

16

Làm mát bằng nước ( môi trường 35 o C)

mbar

10

Làm mát bằng nước ( môi trường 23 o C)

mbar

16

Đối lưu tự nhiên ( môi trường xung quanh 30 o C)

mbar

1

Đối lưu tự nhiên ( môi trường 23 o C)

mbar

2

Thời gian bắt đầu đến 90% tốc độ (80 W)

giây

115

Tốc độ quay danh nghĩa

vòng / phút

90.000

Khối lượng

Kilôgam

3.0

2,9

4.3

3.2