Sửa chữa chân không cho máy phủ quang học – Giải pháp đảm bảo chất lượng lớp phủ

Vai trò của hệ thống chân không trong máy phủ quang học

Máy phủ quang học (Optical Coating Machine) được sử dụng để phủ các lớp mỏng như AR, HR, IR, phản xạ – chống phản xạ lên:

• Thấu kính quang học

• Kính camera, kính hiển vi

• Filter quang, gương laser

• Linh kiện quang điện tử

Để lớp phủ đạt độ đồng đều, độ bám dính và độ sạch cao, hệ thống chân không phải đạt mức chân không cao đến siêu cao.
Chỉ cần hệ thống chân không gặp sự cố, toàn bộ mẻ phủ có thể bị lỗi hoặc phải hủy bỏ.

👉 Vì vậy, sửa chữa và bảo dưỡng hệ thống chân không cho máy phủ quang học là yêu cầu bắt buộc trong vận hành sản xuất.

Các sự cố chân không thường gặp trên máy phủ quang học

Trong quá trình vận hành, máy phủ quang học thường gặp các lỗi sau:

1. Không đạt áp suất chân không yêu cầu

• Áp suất nền cao hơn tiêu chuẩn

• Thời gian hút chân không kéo dài

• Không thể khởi động bơm turbo

2. Rò rỉ chân không

• Rò tại mặt bích, O-ring

• Rò mối hàn buồng phủ

• Rò feedthrough điện, nước làm mát

3. Bơm chân không hoạt động không ổn định

• Bơm turbo báo lỗi rung, quá tốc

• Bơm backing yếu, hồi dầu

• Bơm khô phát tiếng ồn bất thường

4. Chân không bị nhiễm bẩn

• Hơi dầu xâm nhập buồng phủ

• Hơi ẩm cao

• Bụi và tạp chất làm giảm độ sạch lớp phủ
  

Dịch vụ sửa chữa chân không cho máy phủ quang học gồm những gì?

1. Kiểm tra tổng thể hệ thống chân không

• Đánh giá tình trạng buồng phủ

• Kiểm tra sơ đồ bơm: bơm sơ cấp – bơm turbo – cryo (nếu có)

• Đo áp suất nền và tốc độ hồi chân không

2. Đo và xử lý rò rỉ chân không

• Đo rò rỉ bằng khí Helium theo tiêu chuẩn quốc tế

• Xác định chính xác vị trí rò rỉ

• Thay thế gioăng, O-ring, xử lý mối hàn

3. Sửa chữa và bảo dưỡng bơm chân không

• Bảo dưỡng bơm cánh gạt dầu

• Đại tu bơm khô (dry pump)

• Kiểm tra và hiệu chỉnh bơm turbo

Hệ thống máy phủ quang học thường sử dụng bơm từ các hãng như Edwards, Pfeiffer Vacuum, Leybold hoặc ULVAC.

4. Làm sạch và phục hồi độ sạch chân không

• Vệ sinh buồng phủ

• Loại bỏ hơi dầu, hơi ẩm

• Thay dầu chân không đúng chủng loại

• Sấy hệ thống chân không (Bake-out)

5. Hiệu chỉnh cảm biến và đồng hồ đo chân không

• Hiệu chuẩn cảm biến Pirani, Cold Cathode

• Kiểm tra độ chính xác dải áp suất

• Đồng bộ tín hiệu với bộ điều khiển máy phủ

Quy trình sửa chữa chân không máy phủ quang học tiêu chuẩn

1. Khảo sát hiện trạng hệ thống tại hiện trường

2. Đánh giá mức độ rò rỉ và nhiễm bẩn

3. Đề xuất phương án sửa chữa tối ưu

4. Thực hiện sửa chữa – thay thế – bảo dưỡng

5. Đo lại áp suất và rò rỉ sau sửa chữa

6. Bàn giao và hướng dẫn vận hành

Lợi ích khi sửa chữa chân không định kỳ cho máy phủ quang học

• Đảm bảo chất lượng lớp phủ ổn định

• Giảm tỷ lệ lỗi sản phẩm

• Tăng tuổi thọ buồng phủ và bơm chân không

• Tiết kiệm chi phí vận hành lâu dài

• Tránh dừng máy đột ngột

Khi nào cần sửa chữa hệ thống chân không máy phủ quang học?

Bạn nên kiểm tra và sửa chữa khi:

• Áp suất nền không đạt tiêu chuẩn thiết kế

• Thời gian hút chân không kéo dài bất thường

• Bơm turbo thường xuyên báo lỗi

• Lớp phủ bị mờ, bong, sai màu

• Chu kỳ bảo trì định kỳ đến hạn

Kết luận

Hệ thống chân không là trái tim của máy phủ quang học. Việc sửa chữa chân không đúng kỹ thuật và đúng thời điểm không chỉ giúp máy hoạt động ổn định mà còn quyết định trực tiếp đến chất lượng lớp phủ quang học.

Nếu bạn đang tìm dịch vụ sửa chữa chân không cho máy phủ quang học chuyên sâu, đo rò rỉ chính xác và bảo dưỡng đúng chuẩn, hãy ưu tiên đơn vị có kinh nghiệm thực tế, thiết bị đo hiện đại và hiểu rõ đặc thù ngành phủ quang.